Установка проявления фоточувствительных паст Hibridas Muckett SC-XK

Задать вопрос

При необходимости получения линий высокого разрешения (ширина линии от 10 мкм) по толстопленочной технологии, т.е., без использования дорогостоящих процессов напыления, используются фотопроявляемые пасты. Установка экспонирования использует стандартный стеклянный фотошаблон, аналогичный используемым в микроэлектронике, для активации фотопроявляемой пасты на определенных участках. 

Установка проявления фоточувствительных паст функционирует по принципу абразивно-химического воздействия, и формирует топологию гибридной схемы после воздействия ультрафиолетового излучения на фоточувствительную пасту. Семейство установок состоит из трех моделей от SC-4K (для подложек размером до 100 х 100 мм)  до SC-10K (для подложек размером до 250 х 250 мм)

Базовая установка включает от одной до трех микрофорсунок для атомизации и распыления проявляющего состава. Программируемая скорость вращения консоли с форсунками составляет 500 ... 3000об/мин

Программируются также давление подачи раствора через форсунки, время цикла, положение форсунки.

Подбор параметров позволяет достичь высокого разрешения с шириной дорожек от 10 мкм.

Особенности

• Программируемая скорость вращения (500–3000об/мин)
• Программируемое давление подачи раствора через форсунки
• Программируемое время цикла
• Максимальный размер подложки до 203 х 203 мм (8” x 8”)