Каталог товаров

Многофункциональные печи Серия SRO

Задать вопрос

Компактные многофункциональные печи серии SRO идеально подходит для лабораторных применений, НИОКР, ответственных мелкосерийных производств благодаря малым габаритным размерам, модульной конструкции, широкому спектру возможностей. В печах применяется кондукционный принцип нагрева и охлаждения изделий при помощи пластины с низкой термической массой. За счет использования газового охлаждения пластины достигается высокая скорость и равномерность охлаждения изделия.

Особенности

Возможность пайки, посадки кристалла, отжига и получения эвтектических соединений
Наиболее высокое качество соединений за счет проведения процесса в вакуумной среде
Возможность использования паст, преформ и фольги
Возможность пайки в азоте, формир-газе, парах муравьиной кислоты, пайки под избыточным давлением и плазменной обработке

Применение

Вакуумная пайка на припойную пасту и преформы без флюса для предотвращения возникновения каверн в слое припоя
Пайка силовых модулей, лазерных диодов, СВЧ-модулей
Герметизация корпусов на стекло и эвтектику
Быстрое отверждение фоточувствительных компаундов
Получение эвтектических соединений AuGe/SiAu
Быстрая закалка
Термокопрессионная поасдка кристаллов
Пайка flip-chip модулей и 3D структур
Пайка под давлением 2 бар
Плазменная обработка
Отжиг полупроводниковых материалов

В комплекте с печью может быть разработана и поставлена оснастка для пайки по техническому заданию заказчика для всех типов модулей.

	SRO 700	SRO 714	SRO 716
Среда процесса	Азот, форминг-газ, муравьиная кислота	Азот, форминг-газ, муравьиная кислота, водород, плазма с частотой 40 кГц/ 2,45 ГГц.	Азот, форминг-газ, муравьиная кислота, водород, плазма с частотой 40 кГц/ 2,45 ГГц.
Давление	Вакуум, атмосферное	Вакуум, атмосферное, положительное до 2 бар	Вакуум, атмосферное, положительное до 2 бар
Вакуум, мбра	До 5 x 10^-5
Максимальная рабочая температура, °C	450 ± 0,2 (опционально – до 750)
Нагреваемая поверхность	легкосъемная пластина алюминиевый сплав / керамическая / графитовая	легкосъемная пластина алюминиевый сплав / керамическая / графитовая	легкосъемная пластина алюминиевый сплав/ керамическая / графитовая
Рабочая область, мм	230 x 217	217х270	314 x 314
Высота рабочей камеры, мм	40 (100 - опционально)
Нагреватели	8 ИК-ламп по 750 Ватт.	12 ИК-ламп по 750 Ватт.	14 ИК-ламп по 750 Ватт.
Параметры нагрева	>3,5^оС/сек (на поверхности алюминиевого мармита, >20^оС/сек (прямой ИК-нагрев)
Параметры охлаждения	>2^оС/сек. (Ускоренное остывание при подаче газа с
Равномерность температуры	< ± 1,5% от заданного значения
Контроль инертной среды	Программный, датчики потока газа, опционально мониторинг содержания кислорода/воды/пара/утечек гелия
Управление	ПК на основе Windows 7; контроллер PLC с возможностью программирования программ до 100 шагов
Охлаждение стенок камеры	Водяное
Охлаждение пластины	газовое
Габариты без насосного блока, мм	770 x 560 x 800	960 x 720 x 1340	960 x 720 x 1340
Тип размещения	настольный	напольный	напольный
Масса, кг	ок 54	Ок 250	Ок 300
Подключение	230 В, 16 A, 50 Гц, трехфазная 5-проводная схема	400 ВA, 16 A, 50 Гц, трехфазная 5-проводная схема, 6,5 кВт	400 ВA, 16 A, 50 Гц, трехфазная 5-проводная схема, 6,5 кВт

Назад в раздел