г. Москва, ул. Кузнецкий Мост, дом 21/5
+7 (495) 128-70-65
Меню
Каталог товаров

Станция зондового контроля MPI TS150 / 200

Зондовая станция MPI TS 150 предназначена для точных и воспроизводимых измерений постоянных (DC/CV), высокочастотных (RF) сигналов и сигналов большой мощности (High Power).

Станция имеет широкие возможности применения для таких нужд, как снятие характеристик и моделирование устройств, оценка надежности кристаллов на подложке, анализ дефектов технологии ИС, МЭМС и измерения высокой мощности.

Зондовый контроль стал доступнее с русскоязычным ПО qAlibria в установках серии TS.

Особенности

  • быстрое позиционирование образца при помощи ручного пантографа
  • установка до 10 DC или 4 RF-позиционеров на плиту
  • подъемник плиты с тремя отдельными режимами: для загрузки образца, контакта с образцом и промежуточным
  • антивибрационная платформа в комплекте
  • русскоязычное калибровочное ПО qAlibria
  • возможность использования дополнительного навешиваемого на микроскоп оборудования при помощи жёсткого моста для микроскопа

Применение

Установка предназначена для проведения измерений показателей полупроводниковых чипов на постоянном токе на пластинах из различных материалов.

Рабочий стол 185×235 мм с разрешением 5 мкм и плоскостностью лучше 10 мкм
Метод перемещения пантограф на воздушных подшипниках, точная настройка при помощи микрометрических винтов в диапазоне 25×25 мм
Макс. кол-во микропозиционеров 10DC или 4RF
Область перемещения по оси Z, мкм 25
Повторяемость зазоров, мкм 1
Поверхность держателя плоская с вакуумными каналами, плоскостность лучше 5 мкм
Диаметр, мкм 160
Электропитание ~110 / ~220 В
Вакуум, бар 0,5
Сжатый воздух, бар 4
Габаритные размеры, мм 470×505×520
Вес, кг 60
Назад в раздел

Задать вопрос

Ваше имя*
Ваш E-mail
Телефон*
Сообщение
Защита от автоматических сообщений
CAPTCHA
Введите слово на картинке*
© 2007-2024 NATANA.GROUP

г. Москва, ул. Кузнецкий Мост, дом 21/5

Email: kojin@natana-group.ru
Телефон:
+7 (495) 128-70-65
VSRT3S1_VILKA