- Главная
- О компании
-
Каталог
- Сборка и монтаж
- Микроэлектроника
- Материалы
- Статьи
- Контакты
|
Зондовая станция MPI TS 150 предназначена для точных и воспроизводимых измерений постоянных (DC/CV), высокочастотных (RF) сигналов и сигналов большой мощности (High Power).
Станция имеет широкие возможности применения для таких нужд, как снятие характеристик и моделирование устройств, оценка надежности кристаллов на подложке, анализ дефектов технологии ИС, МЭМС и измерения высокой мощности.
Зондовый контроль стал доступнее с русскоязычным ПО qAlibria в установках серии TS.
Установка предназначена для проведения измерений показателей полупроводниковых чипов на постоянном токе на пластинах из различных материалов.
Рабочий стол | 185×235 мм с разрешением 5 мкм и плоскостностью лучше 10 мкм |
Метод перемещения | пантограф на воздушных подшипниках, точная настройка при помощи микрометрических винтов в диапазоне 25×25 мм |
Макс. кол-во микропозиционеров | 10DC или 4RF |
Область перемещения по оси Z, мкм | 25 |
Повторяемость зазоров, мкм | 1 |
Поверхность держателя | плоская с вакуумными каналами, плоскостность лучше 5 мкм |
Диаметр, мкм | 160 |
Электропитание | ~110 / ~220 В |
Вакуум, бар | 0,5 |
Сжатый воздух, бар | 4 |
Габаритные размеры, мм | 470×505×520 |
Вес, кг | 60 |
© 2007-2024 NATANA.GROUP
|
г. Москва, ул. Кузнецкий Мост, дом 21/5 Email: kojin@natana-group.ru |
Телефон: +7 (495) 128-70-65 |