- Главная
- О компании
-
Каталог
- Сборка и монтаж
- Микроэлектроника
- Материалы
- Статьи
- Контакты
|
Установка плазмохимического травления с ручной системой загрузки под контролем компьютера с ОС Linux (Fedora). Система использует фторированные реактивные газы для Si, SiO2, Si3N4, Ge, W, Ta, Ti, Nb, Mo и травления полимеров. Если система укомплектована CCD -камерой с лазерным датчиком окончания процесса травления, это дает возможность автоматической многошаговости процесса
Диаметр пластины, мм (макс) |
200 |
Диаметр катода, мм |
220 |
ВЧ-генератор |
13,56 МГц 300 Вт |
Лазерный датчик окончания процесса |
есть |
Общее энергопотребление в режиме травления, кВт |
10,3 |
Общее энергопотребление в режиме ожидания, кВт |
3,1 |
© 2007-2024 NATANA.GROUP
|
г. Москва, ул. Кузнецкий Мост, дом 21/5 Email: kojin@natana-group.ru |
Телефон: +7 (495) 128-70-65 |