Каталог товаров

Реактивно-ионное травление Corial 200R

Задать вопрос

Система реактивно-ионного травления, которая предназначена для травления кремниевых сплавов SiO₂, Si₃N₄ и металлов (W, Nb, Ta, Mo) с химией, основанной на фторировании.

Размер обрабатываемых пластин, мм	до 200
Размер катода, мм	220
Скорость откачки турбомолекулярного насоса, л/с	900
RF генератор	13,56 МГц 300 Вт
Общее энергопотребление в режиме травления, КВт	10,3
Общее энергопотребление в режиме ожидания, КВт	3,1

Назад в раздел