г. Москва, ул. Кузнецкий Мост, дом 21/5
+7 (495) 128-70-65
Меню
Каталог товаров

Безмасковая лазерная литография SVG optronics Microlab

В системе SVG optronics Microlab используется ряд передовых технологий, которые позволяют добиваться высокого разрешения до 100 нм при высокой скорости формирования изображений. Они не требуют шаблонов, изображение формируется динамически.

Массив DMD-микрозеркал-запатентованное решение Texas Instruments. Каждое зеркало массива может находится в одном из двух положений -передавать свет на подложку или оставлять незаствеченную точку. Зеркала не монтируются в массив, а сразу формируются на единой подложке по МЭМС-технологии, что позволяет добиться предельного разрешения без зазоров между зеркалами.

Применение массива зеркал вместе с пространственным модулятором света позволяет сохранить высокую скорость печати при уменьшении размера структур. В качестве источника света используются высококачественные DPSS-лазеры с повышенным ресурсом работы -около 25000 часов-это более тринадцати (13) лет безупречной работы.

Размер подложек пластины до 100 мм
Система позиционирования на базе пьезо-привода с разрешением 10 нм
Диапазон автофокусировки 0-100 мкм (0-2000 мкм опционально), разрешение 10 нм
Точность совмещения, мкм до 0,5
Толщина подложек, мм 0-15
Источник излучения диодный лазер c длиной волны 405 нм, 3,6 Вт (355-405 – опционально).
ртутная лампа с длиной волны 365 нм, срок службы до 25 000 ч.
Формат данных GDSII, BMP, DXF
Габаритные размеры, мм 1140×780×1812
Вес, кг 750

Характеристики производительности

Тип линзы 1 2 3
Разрешение, мкм 0,5 0,25 0,1
Размер структуры, мкм 2 1 0,5
Равномерность, нм 500 180 80
Скорость формирования
изображения, мм2/мин
100 40 10
Назад в раздел

Задать вопрос

Ваше имя*
Ваш E-mail
Телефон*
Сообщение
Защита от автоматических сообщений
CAPTCHA
Введите слово на картинке*
© 2007-2024 NATANA.GROUP

г. Москва, ул. Кузнецкий Мост, дом 21/5

Email: kojin@natana-group.ru
Телефон:
+7 (495) 128-70-65
VSRT3S1_VILKA