Микроэлектроника

Установки электронного-лучевого напыления серии KE предназначены
для нанесения тонкоплёночных покры-тий. За счет гибкости настройки и про-стоты управления может применяться
в условиях как опытного, так и серий-ного производства.

μGalv обеспечивает полностью автоматическое выполнение рабочих процессов, связанных с осаждением металлов на пластину.