Универсальная камерная печь PEO 6XX LTCC

Задать вопрос

Печи серии РЕО - компактные, экономичные установки, способные выполнять множество технологических задач. Все печи серии оснащены кварцевой быстросъёмной рабочей камерой цилиндрической формы, закрывающейся конической крышкой, которая смонтирована на выдвижной подпружиненной панели загрузочной дверцы. Такая конструкция позволяет достичь хорошей теплоизоляции внутреннего объёма камеры при закрытой дверце. Оси направляющих с шарикоподшипниками обеспечивают плавное закрывание печи. Во время работы печи дверца блокируется. Дверца с автоматическим открыванием / закрыванием предлагается как дополнительное оборудование.

Печь нагревается двенадцатью проволочными резистивными элементами из сплава Kanthal ®, рассчитанного на температуры до 1450°C. Керамические оси в проволочной обмотке из сплава Kanthal ®, формируют три независимо программируемые зоны нагрева: верхнюю, среднюю и нижнюю. В дополнение, печь оснащена двумя дисковыми нагревателями – один находится в заднем торце камеры и один – на конической крышке загрузочной дверцы, в передней части камеры. Эти два нагревателя можно также программировать независимо от остальных. Такое распределение нагревателей существенно увеличивает полезный объём печи – изделия можно ставить в несколько ярусов вплотную к торцам камеры, получая для всех изделий идентичные тепловые режимы. Значения температур, полученные с помощью термопар, установленных на пластинах или подложках (при пробной загрузке) в пяти зонах рабочей камеры, позволяют прецизионно настроить работу каждой группы термоэлементов и обеспечить заявленную равномерность температуры в серийном производстве.

Теплоизоляция вокруг рабочей камеры рассчитана на продолжительную работу при 1400°C. Конструктивно изоляция выполнена из двух половин, между которыми на каждой из сторон камеры имеется щель. В режиме программируемого остывания через эти щели вентилятором подаётся комнатный воздух, который охлаждает внешнюю сторону кварцевой камеры, нагревательные элементы и теплоизоляцию. Максимальная скорость остывания – менее часа с температуры 1100°C до температуры ниже 100°C. Подача холодного воздуха внутрь камеры во время выполнения термического цикла не производится.

Для защиты кварцевых деталей от деформации рабочая температура ограничена 1150°C. Для работы при более высоких температурах предусмотрены другие материалы, и такое исполнение печи делается на заказ. В стандартном исполнении печь оснащена двумя независимыми программируемыми газовыми линиями с ручной регулировкой скорости потока. В стандартном исполнении трубопроводы исполнены из нержавеющей стали с фитингами фирмы Swagelok ®. По заказу возможно дооснащение дополнительными газовыми линиями, контроллерами массового расхода газа (MFC), газовой распределительной панелью, фитингами VCR ® и трубопроводами из нержавеющей стали круговой сварки.

Герметизирующее покрытие из PTFEвоздушного охлаждения (Teflon ®) в PEO-601 позволяют достичь значения утечки по гелию ~ 10 -4mbarl/s, максимального установившегося значения вакуума ~10 -2mbar и уровня содержания кислорода в переделах 10 ppm. Это ограничивает возможности этой модели в осаждении химических паров (LPCVD) и схожих процессах. Это единственное отличие PEO-601 от остальных печей серии. Водоохлаждаемая герметизация Viton ® в моделях PEO-603/612 и будущих моделях серии позволяют достичь уровня утечки по гелию ~ 10 -9mbarl/s, максимального установившегося значения вакуума менее  5 x 10 -6mbar и уровня содержания кислорода порядка 1 ppm.

Компактные размеры печей PEO значительно экономит Вашу площадь и позволяют установку двух печей одна над другой. Используемый алгоритм работы (загрузка при комнатной температуре, нагрев, обработка и быстрое остывание) позволяет экономить энергию т.к. отсутствует длительное простаивание печи в нагретом состоянии между загрузками.