- Главная
- О компании
-
Каталог
- Сборка и монтаж
- Микроэлектроника
- Материалы
- Статьи
- Контакты
|
Центрифуги SM 200 предназначены для нанесения фоторезистов на пластины до 200 мм
(возможно исполнение до 600 мм).
Центрифуга может быть выпущена в двух версиях:
Пластины, мм | Ø до 200 или квадратные до 150×150 |
Скорость вращения, об/мин. | 0-12000 |
Точность вращения, об/мин. | ±1 на 6000 |
Ускорение, rad/s2 | 0-160 |
Температура окружающего воздуха, °C | 4-60 |
Хранение в памяти | до 10 рецептов по 24 пар скорость/время в каждом |
Вакуум, бар | –0,8 Ø 6/4 |
Давление, бар | 6 Ø 6/4 |
Вытяжка воздуха, мм | 40-60 м³ /ч Ø 76 |
Слив, мм | Ø 2×12 |
Электропитание, В | ~230 |
Габаритные размеры, мм | 850×750×980 |
Масса, кг | 120 |
© 2007-2024 NATANA.GROUP
|
г. Москва, ул. Кузнецкий Мост, дом 21/5 Email: kojin@natana-group.ru |
Телефон: +7 (495) 128-70-65 |