- Главная
- О компании
-
Каталог
- Сборка и монтаж
- Микроэлектроника
- Материалы
- Статьи
- Контакты
|
MA6/BA6 — установка совмещения и экспонирования, предназначенная для всех стандартных литографических процессов с пластинами до 150 мм. Высокое разрешение, двустороннее совмещение, автоматизация позволяют использовать данную установку для разработки процессов, предназначенных к внедрению в серийное производство, а также для производства средней серии.
Система MA/BA6 третьего поколения представляет собой инновационную установку совмещения, предназначенную для научно-исследовательской деятельности и производства. Она обеспечивает высокую гибкость процессов и предлагает новые характеристики и ключевые компоненты, такие как система управления на базе Windows, автоматическое совмещение или совмещение с подсказками и компенсация погрешности.
Топологический уровень, мкм | до 0,5 |
Размер пластин, мм | 150×150 (max) 5×5 (min) |
Толщина пластин, мм | до 4 |
Размеры масок, мм | до 7’×7’ |
Толщина маски, мм | до 4,8 |
Режимы | с зазором / мягкий контакт / жесткий контакт / вакуум |
Источник излучения, Вт | ртутные лампы 200 или 350 |
Длина волны излучения, нм | 240-450 |
© 2007-2024 NATANA.GROUP
|
г. Москва, ул. Кузнецкий Мост, дом 21/5 Email: kojin@natana-group.ru |
Телефон: +7 (495) 128-70-65 |