- Главная
- О компании
-
Каталог
- Сборка и монтаж
- Микроэлектроника
- Материалы
- Статьи
- Контакты
|
Система iSpray 300 позволяет наносить фоторезист на поверхность глубокой развитой топологии. Специальная форсунка гарантирует минимальные размеры капли резиста, обеспечивая однородное покрытие по всей площади подложки. Для круглых подложек до 300 мм (максимально) и квадратных подложек 12×12 дюймов.
Объем расходуемого вещества, мл/цикл | 500 |
Вязкость фоторезиста, сТ | 0,3 .. 25 |
Размер капли, мкм | менее 7 |
Скорость перемещения головки, м/с | 0,4 |
Точность позиционирования головки, мм | ±0,1 |
Температура внешней среды, °С | +4 ° .. +60°С |
Габариты, мм | 850×750×2333 |
Масса, кг | 220 |
© 2007-2024 NATANA.GROUP
|
г. Москва, ул. Кузнецкий Мост, дом 21/5 Email: kojin@natana-group.ru |
Телефон: +7 (495) 128-70-65 |