Каталог товаров

Нанесение фоторезиста центрифугированием Sawatec SM 200

Задать вопрос

Центрифуги SM 200 предназначены для нанесения фоторезистов на пластины до 200 мм
(возможно исполнение до 600 мм).

Центрифуга может быть выпущена в двух версиях:

Пластины, мм	Ø до 200 или квадратные до 150×150
Скорость вращения, об/мин.	0-12000
Точность вращения, об/мин.	±1 на 6000
Ускорение, rad/s²	0-160
Температура окружающего воздуха, °C	4-60
Хранение в памяти	до 10 рецептов по 24 пар скорость/время в каждом
Вакуум, бар	–0,8 Ø 6/4
Давление, бар	6 Ø 6/4
Вытяжка воздуха, мм	40-60 м³ /ч Ø 76
Слив, мм	Ø 2×12
Электропитание, В	~230
Габаритные размеры, мм	850×750×980
Масса, кг	120