Мишени для магнетронного напыления Heraeus

Задать вопрос

Правильно подобранная и изготовленная мишень обеспечивает высокое качество напыления. К основным характеристикам мишеней относятся:

1. Материал мишени
2. Чистота материала мишени
3. Содержание абсорбированных газов в мишени. Содержание газов в мишени напрямую связано с процессом изготовления мишени.
4. Допуски на размер мишени. Каждая установка для напыления тонких пленок предъявляет свои требования к допускам на размеры мишеней. Типичные мишени имеют следующие допуски на размер: 8.000’’ диаметр (+/- 0.005) х 0.250’’ толщина (+/- 0.010). Правильно заданные допуски существенно понижают риск растрескивания мишени, и образования дуги.

Мишени для магнетронного напыления производства компании Heraeus изготавливаются в различных формах в соответствии с чертежами Заказчиков. Наиболее распространенные типы материалов мишеней для напыления представлены в Таблице. Также, по запросу, возможно изготовление других типов мишеней.