- Главная
- О компании
-
Каталог
- Сборка и монтаж
- Микроэлектроника
- Материалы
- Статьи
- Контакты
|
Установки магнетронного напыления Kenosistec серии KS позволяет обрабатывать до 12 пластин ∅100 мм за один цикл. Контроль напыления осуществляется по датчику, размещенному в рабочей камере. Два смотровых окна для визуального контроля процесса позволяют держать в поле зрения как источник излучения, так и подложкодержатель.
Модель | KS 40V | KS 80V | KS 120V |
Размер рабочей камеры (Ø×В), мм | 500×400 | 1000×800 | 1000×1200 |
Размеры вертикальных мишеней | до 6×12’’ | до 6×22’’ | до 6×36’’ |
Количество вертикальных мишеней | до 6 | ||
Мощность DC источника питания, кВт | 5 | 10 | 10 |
Мощность RF источника питания, кВт | 1,5 | 5 | 5 |
Количество подложек размером 2’’ за цикл | до 80 | до 120 | до 160 |
Нагрев подложки, °C | до 350 (опционально до 800) | ||
Охлаждение подложки | водяная система или жидкий азот | ||
Предельный вакуум, мбар | 5×10-7 |
© 2007-2024 NATANA.GROUP
|
г. Москва, ул. Кузнецкий Мост, дом 21/5 Email: kojin@natana-group.ru |
Телефон: +7 (495) 128-70-65 |