г. Москва, ул. Кузнецкий Мост, дом 21/5
+7 (495) 128-70-65
Меню
Каталог товаров

Магнетронное напыление на установках серии KS Kenosistec

Установки магнетронного напыления Kenosistec серии KS позволяет обрабатывать до 12 пластин ∅100 мм за один цикл. Контроль напыления осуществляется по датчику, размещенному в рабочей камере. Два смотровых окна для визуального контроля процесса позволяют держать в поле зрения как источник излучения, так и подложкодержатель.

Модель KS 40V KS 80V KS 120V
Размер рабочей камеры (Ø×В), мм 500×400 1000×800 1000×1200
Размеры вертикальных мишеней до 6×12’’ до 6×22’’ до 6×36’’
Количество вертикальных мишеней до 6
Мощность DC источника питания, кВт 5 10 10
Мощность RF источника питания, кВт 1,5 5 5
Количество подложек размером 2’’ за цикл до 80 до 120 до 160
Нагрев подложки, °C до 350 (опционально до 800)
Охлаждение подложки водяная система или жидкий азот
Предельный вакуум, мбар 5×10-7
Назад в раздел

Задать вопрос

Ваше имя*
Ваш E-mail
Телефон*
Сообщение
Защита от автоматических сообщений
CAPTCHA
Введите слово на картинке*
© 2007-2024 NATANA.GROUP

г. Москва, ул. Кузнецкий Мост, дом 21/5

Email: kojin@natana-group.ru
Телефон:
+7 (495) 128-70-65
VSRT3S1_VILKA