- Главная
- О компании
-
Каталог
- Сборка и монтаж
- Микроэлектроника
- Материалы
- Статьи
- Контакты
|
Система реактивно-ионного травления, которая предназначена для травления кремниевых сплавов SiO2, Si3N4 и металлов (W, Nb, Ta, Mo) с химией, основанной на фторировании.
Размер обрабатываемых пластин, мм | до 200 |
Размер катода, мм | 220 |
Скорость откачки турбомолекулярного насоса, л/с | 900 |
RF генератор | 13,56 МГц 300 Вт |
Общее энергопотребление в режиме травления, КВт | 10,3 |
Общее энергопотребление в режиме ожидания, КВт | 3,1 |
© 2007-2024 NATANA.GROUP
|
г. Москва, ул. Кузнецкий Мост, дом 21/5 Email: kojin@natana-group.ru |
Телефон: +7 (495) 128-70-65 |