г. Москва, ул. Кузнецкий Мост, дом 21/5
kojin@natana-group.ru
+7 (495) 128-70-65
Меню
Каталог товаров

Электронно-лучевое напыление на установках серии KE Kenosistec

Установка электронно-лучевого напыления KE 1000 позволяет обрабатывать до 78 подложек размером 60×48 мм за один цикл. Два смотровых окна для визуального контроля процесса позволяют держать в поле зрения как источник излучения, так и подложкодержатель.

Модель KS 40V KS 80V
Размер рабочей камеры (Ø×В), мм 500×700 900×900
Количество смотровых окон до 2 Ø до 100 мм до 4 Ø до 100 мм
Количество наносимых материалов до 4
Количество обрабатываемых подложек до 40 размером 2'' до 80 размером 2''
Предельный вакуум, мбар 3×10-7
Нагрев подложек, °C до 500
Мощность электронной пушки, кВт до 10 до 15
Скорость откачки криогенного насоса, л/с до 2200
Ионный источник, Вт 300
Назад в раздел

Задать вопрос

Ваше имя*
Ваш E-mail
Телефон*
Сообщение
Защита от автоматических сообщений
CAPTCHA
Введите слово на картинке*
© 2007-2024 NATANA.GROUP

г. Москва, ул. Кузнецкий Мост, дом 21/5

Email: kojin@natana-group.ru 		Телефон:
+7 (495) 128-70-65
VSRT3S1_VILKA