г. Москва, ул. Кузнецкий Мост, дом 21/5
+7 (495) 128-70-65
Меню
Каталог товаров

Двустороннее совмещение и экспонирование SUSS MicroTec MA6/BA6

MA6/BA6 — установка совмещения и экспонирования, предназначенная для всех стандартных литографических процессов с пластинами до 150 мм. Высокое разрешение, двустороннее совмещение, автоматизация позволяют использовать данную установку для разработки процессов, предназначенных к внедрению в серийное производство, а также для производства средней серии.

Система MA/BA6 третьего поколения представляет собой инновационную установку совмещения, предназначенную для научно-исследовательской деятельности и производства. Она обеспечивает высокую гибкость процессов и предлагает новые характеристики и ключевые компоненты, такие как система управления на базе Windows, автоматическое совмещение или совмещение с подсказками и компенсация погрешности.

Топологический уровень, мкм до 0,5
Размер пластин, мм 150×150 (max) 5×5 (min)
Толщина пластин, мм до 4
Размеры масок, мм до 7’×7’
Толщина маски, мм до 4,8
Режимы с зазором / мягкий контакт / жесткий контакт / вакуум
Источник излучения, Вт ртутные лампы 200 или 350
Длина волны излучения, нм 240-450
Назад в раздел

Задать вопрос

Ваше имя*
Ваш E-mail
Телефон*
Сообщение
Защита от автоматических сообщений
CAPTCHA
Введите слово на картинке*
© 2007-2024 NATANA.GROUP

г. Москва, ул. Кузнецкий Мост, дом 21/5

Email: kojin@natana-group.ru
Телефон:
+7 (495) 128-70-65
VSRT3S1_VILKA