- Главная
- О компании
-
Каталог
- Сборка и монтаж
- Микроэлектроника
- Материалы
- Статьи
- Контакты
|
В системе SVG optronics Miscan используется ряд передовых технологий, которые позволяют добиваться высокого разрешения до 100 нм при высокой скорости формирования изображений. Они не требуют шаблонов, изображение формируется динамически.
Массив DMD-микрозеркал-запатентованное решение Texas Instruments. Каждое зеркало массива может находится в одном из двух положений -передавать свет на подложку или оставлять незаствеченную точку. Зеркала не монтируются в массив, а сразу формируются на единой подложке по МЭМС-технологии, что позволяет добиться предельного разрешения без зазоров между зеркалами.
Применение массива зеркал вместе с пространственным модулятором света позволяет сохранить высокую скорость печати при уменьшении размера структур. В качестве источника света используются высококачественные DPSS-лазеры с повышенным ресурсом работы -около 25000 часов-это более тринадцати (13) лет безупречной работы.
Размер подложек | пластины до 200 мм |
Система позиционирования | на базе линейных двигателей по осям X-Y-θ с разрешением 3 нм |
Диапазон автофокусировки | 0-400 мкм (0-2000 мкм опционально), разрешение 10 нм |
Точность совмещения, мкм | до 0,5 |
Толщина подложек, мм | 0-15 |
Источник излучения | диодный лазер c длиной волны 405 нм, 3,6 Вт (355 – опционально), срок службы до 25 000 ч. |
Формат данных | GDSII, BMP, DXF |
Габаритные размеры, мм | 1540×1120×1900 |
Вес, кг | 1500 |
Характеристики производительности
Тип линзы | 1 | 2 | 3 | 4 |
Разрешение, мкм | 1 | 0,5 | 0,25 | 0,1 |
Размер структуры, мкм | 5 | 2 | 1 | 0,5 |
Равномерность, нм | 800 | 300 | 150 | 70 |
Скорость формирования изображения, мм2/мин |
1200 | 600 | 300 | 100 |
© 2007-2024 NATANA.GROUP
|
г. Москва, ул. Кузнецкий Мост, дом 21/5 Email: kojin@natana-group.ru |
Телефон: +7 (495) 128-70-65 |