- Главная
- О компании
-
Каталог
- Сборка и монтаж
- Микроэлектроника
- Материалы
- Статьи
- Контакты
|
Многокамерные печи серии VADU для вакуумной пайки силовых приборов и горячего бондирования полупроводниковых пластин позволяют выполнять качественную пайку больших поверхностей (теплоотводы, медно-керамические подложки, пластины, корпуса). Принцип раздельных камер для охлаждения и нагрева позволяет точно выдерживать рекомендованные термические профили пайки (включая контролируемое охлаждение).
Печи VADU являются наиболее экономичными системами вакуумной пайки, поскольку не используют азот для охлаждения и не выполняют циклический нагрев/охлаждение рабочей камеры.
Широкие возможности по проектированию и изготовлению оснастки по техническому заданию заказчика обеспечивают эффективность процесса, минимальный термический стресс для изделий и качественную пайку.
|
Vadu 100 |
Vadu 200 |
Vadu 300 |
||
Количество рабочих камер |
1 (2 раздельные зоны) |
2 |
3 |
||
Площадь рабочей зоны, мм2 |
168 х 280 |
410 х 280 |
410 х 280 |
||
Высота рабочей камеры, мм |
50 |
100 |
100 |
||
Максимальная температура |
400 оС (500 – опционально) |
||||
Рабочее давление, мбар |
≤ 2 |
||||
Скорость откачки |
40 м3/ч |
||||
Технологически газы |
N2, N2+H2, N2+HCOOH |
N2, N2+H2, N2+HCOOH |
N2, N2+H2, N2+HCOOH |
||
Расход азота |
1 м3/ч |
||||
Расход воды л/мин |
3-4 л/мин |
||||
Габаритные размеры основного блока, мм |
1070 × 1400 × 1150 |
1200 × 1890 × 1680 |
2410 × 1610 × 1800 |
||
Размеры насосного блока, мм |
интегрирован |
интегрирован |
990 х 690 х 1800 |
||
Общая масса системы, кг |
500 |
1200 |
2000 |
||
Полная мощность, кВА |
5 |
10 |
25 |
||
Электропитание |
3 х 380 В, 50/60 Гц |
||||
Опционально |
|
||||
Увеличение рабочей зоны, мм |
- |
420 х 320 |
600 х 380 |
||
Оснастка для работы с пластинами |
До 6” |
До 12” |
До 12” |
||
Индукционный нагрев |
да |
да |
да |
||
Автоматическая загрузка |
- |
Конвейер-шаттл |
Возвратный конвейер / магазин-магазин |
||
Модуль верхнего ИК-нагрева |
да |
да |
да |
||
Модуль низкотемпературного спекания (синетеринг) |
- |
- |
да |
© 2007-2024 NATANA.GROUP
|
г. Москва, ул. Кузнецкий Мост, дом 21/5 Email: kojin@natana-group.ru |
Телефон: +7 (495) 128-70-65 |