Каталог товаров

Плазмохимическое травление Corial 200L

Задать вопрос

Установка плазмохимического травления с ручной системой загрузки под контролем компьютера с ОС Linux (Fedora). Система использует фторированные реактивные газы для Si, SiO₂, Si₃N₄, Ge, W, Ta, Ti, Nb, Mo и травления полимеров. Если система укомплектована CCD -камерой с лазерным датчиком окончания процесса травления, это дает возможность автоматической многошаговости процесса

Диаметр пластины, мм (макс)	200
Диаметр катода, мм	220
ВЧ-генератор	13,56 МГц 300 Вт
Лазерный датчик окончания процесса	есть
Общее энергопотребление в режиме травления, кВт	10,3
Общее энергопотребление в режиме ожидания, кВт	3,1

Назад в раздел