Тонкоплёночные структуры

Температурный столик HP 150 — это оптимальное решение для проведения работ, требующих точного соблюдения температурных режимов.

Идеальное решение!
Особенно в области произв-ва МЭМС.

Сверхэффективно для нанесения фоторезистов на рельефные структуры с высокой равномерностью в условиях мелкосерийного производства.

Оптимальный выбор для полуавтома-тического нанесения тонких слоев фоторезиста. Запатентованная система устранения турбулентности воздушного потока при вращении подложки позво-ляет понизить расход материалов и повысить равномерность и однород-ность получаемого покрытия.

Гибкость, поддержка всех известных промышленных фоторезистов, мате-риалов покрытий и высокий уровень точности и воспроизводимости процес-са сделали SM150 востребованной
в научно-исследовательской сфере,
а так же в прототипировании, опытном и мелкосерийном производстве.

Установки магнетронного распыления серии KS предназначены для нанесения тонкоплёночных покрытий.

За счет гибкости настройки и простоты управления может применяться в усло-виях как опытного, так и серийного производства.